簡(jiǎn)要描述：超高精度直接驅(qū)動(dòng)垂直線性平移臺(tái)通過(guò)在經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的 XMS 設(shè)計(jì)中添加平衡機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)超精密垂直運(yùn)動(dòng)。在所有垂直平移臺(tái)中，XMS-V 具有最佳的 MIM 和雙向重復(fù)性，且速度最快。

超高性能的垂直平移臺(tái)，具有出色的精度、重復(fù)性和 MIM
非接觸直接驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，可平衡超精密、高動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)和可靠操作
超大型無(wú)鐵心高效率線性電機(jī)可最大限度地減少發(fā)熱

超高精度直接驅(qū)動(dòng)垂直線性平移臺(tái)產(chǎn)品規(guī)格

型號(hào)
	XMS50V	XMS100V
行程范圍	50 mm	100 mm
最大速度	300 mm/s	300 mm/s
中心負(fù)載能力	100 N	100 N
最小位移增量	0.05 µm	0.05 µm
精度，保證值	± 0.75 µm	± 0.75 µm
雙向重復(fù)精度，保證值	± 0.05 µm	± 0.05 µm
限位開(kāi)關(guān)	Optical, fiducial on encoder	Optical, fiducial on encoder
原點(diǎn)	Optical, at center of travel, including mechanical zero signal	Optical, at center of travel, including mechanical zero signal
電纜長(zhǎng)度	5 m	5 m
俯仰順應(yīng)性	2.5 µrad/Nm	2.5 µrad/Nm
滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性	2.0 µrad/Nm	2.0 µrad/Nm
偏擺順應(yīng)性	3.5 µrad/Nm	3.5 µrad/Nm
直線度，平面度	± 0.75 µm	± 0.75 µm
重量	3.5 kg	3.5 kg
MTBF	20,000 h	20,000 h

超高精度直接驅(qū)動(dòng)垂直線性平移臺(tái)特征

超高性能電動(dòng)臺(tái)技術(shù)

Newport的XM系列直線電機(jī)平臺(tái)具有優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能。 XMS100V垂直工作臺(tái)由安裝在高平坦度垂直板上的標(biāo)準(zhǔn)XMS100線性工作臺(tái)和連接至滑架的低摩擦氣缸組成。結(jié)果是一個(gè)垂直平臺(tái)，可為聚焦，傳感器測(cè)試和校準(zhǔn)，直接激光光刻，光纖對(duì)準(zhǔn)，超精密組裝等應(yīng)用提供超高精度和長(zhǎng)行程。該視頻演示了由XM線性和垂直平臺(tái)構(gòu)成的XYZ運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。

平衡選項(xiàng)

直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)、借助于平衡負(fù)載、抵消重力的影響、減輕電機(jī)的工作并具有線性電機(jī)的所有優(yōu)勢(shì)。氣動(dòng)平衡選項(xiàng)可針對(duì)不同負(fù)載進(jìn)行調(diào)整。即使在切斷電機(jī)電源時(shí)，磁平衡選項(xiàng)也可防止托架向下漂移。

磁平衡

防蠕動(dòng)式交叉滾子軸承

與楔形設(shè)計(jì)相比，由相配對(duì)的抗蠕變交叉滾子軸承組成的直接垂直導(dǎo)軌，可在高靈敏度操作中實(shí)現(xiàn)無(wú)波紋運(yùn)動(dòng)，同時(shí)防止罩移位。

高精密線性編碼器

高精密玻璃線性編碼器可提供精確的位置反饋，支持 50 nm 的 MIM。該低熱膨脹標(biāo)尺的精確對(duì)準(zhǔn)和安裝使溫度變化對(duì)平移臺(tái)重復(fù)性和精度的影響降至很低。

T 形托架

在 XMS-V 上使用的 T 形托架進(jìn)行過(guò)剛度優(yōu)化，并且與使用 C 形托架設(shè)計(jì)的平移臺(tái)相比，它支持更大的懸臂負(fù)載。保持平移臺(tái)預(yù)載荷要求有改進(jìn)的剛度。

高精密平滑運(yùn)動(dòng)

無(wú)鐵直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)支持高動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)，基本上沒(méi)有反沖、滯后、卷繞或靜摩擦；導(dǎo)致持續(xù)降低和更多可重復(fù)的跳動(dòng)。此外，由于沒(méi)有驅(qū)動(dòng)螺絲，可實(shí)現(xiàn)高精密定位所需的無(wú)波紋運(yùn)動(dòng)

擴(kuò)展垂直平移臺(tái)的功能

只有 XMS-V 通過(guò)更高的精度和改進(jìn)的動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)達(dá)到垂直平移臺(tái)性能的新高度。其增強(qiáng)的性能可解決更廣泛的具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用。

XMS-V負(fù)載圖

免費(fèi)提供計(jì)量報(bào)告

Newport 保證根據(jù) ASME B5.57 和 ISO 230-2 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量和記錄的規(guī)格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module and XPS-DK22 Cable Kit.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module, and XPS-DK22 Cable Kit.

See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.